主要功能：

高温管式炉的炉管采用高纯氧化铝刚玉管，加热元件为硅碳棒。仪器本身带有两个真密封法兰。控制系统采用高精度可控硅移相触发控制，其控温精度为+/-1℃，控温方式采用30段程序设置，最高温度可达到1400℃。主要用于SiOx，SiNx等介质薄膜1200℃至1300℃的高温退火处理。

技术指标：

最大功率：4kW

工作温度：≤1300℃最高温度：1400℃恒温精度：±1℃

推荐升温速率：≤10℃/min炉管尺寸：60×1000mm可通气氛：真空（10-5Torr）、N2