中文名:原子力显微镜
英文名:Atomic Force Microscope
所属机组:封测组
仪器型号:Demension Icon
房间:地下洁净间
负责人:李伟


品牌型号:Bruker,Demension Icon

主要功能

针尖与样品表面轻轻接触,样品表面原子与针尖原子间存在相互作用力,使微悬臂发生形变,通过检测微悬臂的形变呈现样品表面形貌。主要用于样品表面形貌表征、材料力学及电学性质表征。

技术指标

XY扫描范围:90μm

Z Range:<13μm

样品尺寸:小于 6英寸NSV控制器,具备8通道数据采集能力

接触模式、轻敲模式、智能扫描模式、液体环境扫描模式、峰值力轻敲模式、多维全谱导电测试模块等各种工艺模块。