中文名:手动划片机
英文名:DiamondScriber
所属机组:封测组
仪器型号:RV-129
房间:一楼洁净间
负责人:李伟


品牌型号:UniTemp, RV-129

主要功能

德国UniTemp公司生产的一种晶圆材料的切割机,一般俗称手动划片机,可以相对精确的切割分离带有规则图形的晶圆,采用真空吸附样品台,划片深度可调,可切割硅片、玻璃、陶瓷等微电子制造方面的多种材料,适合科研和小规模生产的简易手动操作机器。

技术指标

可旋转、带真空吸附样品台 ;最大样品直径200mm ;

每间隔90度备有定位V字槽;

通过线性轴承的测微螺杆,精调角度;

最小分辨率:0.006度,范围4度;划片宽度:20mm;

划片长度:250mm;走片精度:0.01mm;样品厚度:≤10mm;

划片压力范围:5~581gr可调;进刀角度:可调节;

单目十字准线显微镜