姓名:马骏 电话:63606361-8039
房间:908 邮箱:maj@ustc.edu.cn
职称/职务:助理工程师、镀膜组
主要职责:

详细介绍:


学习工作经历:

2011年09-2015年06 东华理工大学 学士 机械电子工程;

2015年09-2018年06 东华理工大学 硕士 半导体微电子;

2018年06-2021年04 江苏省产业技术研究院有机光电技术研究所 工程师;

2021年04-至今 中国科学技术大学 助理工程师;


技术专长:

薄膜制备与表征类:ALD原子层沉积多种膜层工艺;CVD高分子薄膜工艺制备;椭偏仪测试多种膜层结构特性;


技术成果:

1.核辐射探测器 CN210429831U 实用新型 2020;

2.一种原子层沉积装置 CN213596393U 实用新型 2021 ;

3.一种原子层沉积方式及原子层沉积方法 CN112176321A 发明 2021 ;