姓名:马骏 电话:63601748-8039
房间:902 邮箱:maj
职称/职务:镀膜组
主要职责:辅助负责镀膜组仪器管理

学习工作经历:

2011年09-2015年06 东华理工大学 学士 机械电子工程

2015年09-2018年06 东华理工大学 硕士 半导体微电子

2018年06-2021年04 江苏省产业技术研究院有机光电技术研究所 主管工程师

2021年04月-至今 中国科学技术大学 工程师

技术专长:

薄膜制备与表征类:ALD原子层沉积多种膜层工艺;CVD高分子薄膜工艺制备;椭偏仪测试多种膜层结构特性

技术成果:

论文:

1.Anodized WO3-W composite electrochromic films for broadly tunable multicolor display

2.Oxygen Functionalization Reshapes Electrochemical Interface of Single Layer Graphene via Defect Evolution and Ion Structuring

专利:

1.核辐射探测器 CN210429831U 2020

2.一种原子层沉积装置 CN213596393U 2021

3.一种原子层沉积方式及原子层沉积方法 CN112176321A 2021