详细介绍：

学习工作经历：

2005.9-2009.7 安徽大学微电子系 本科

2009.9-2014.7 中科院等离子体物理研究所 博士研究生

2014.7-2016.4 合肥鑫晟光电科技有限公司 研发岗工程师

2016.4至今 中科大微纳中心 设备工艺工程师

技术专长：

1.微纳加工工艺的设计；

2.CVD、PVD等镀膜工艺的优化和调试；

3.CVD、PVD等镀膜设备的故障处理；

4.离子注入、退火工艺的优化和调试；

技术成果：

专利名称、专利号：

一种高精度硅基掩模版及其制备方法  CN202010279275.9

在研项目及获奖情况：

孤立铁磁半子对的时空演化特性研究 面上项目（参与）；

中科大2021年度考核优秀；

合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 2021年度良好机组；

合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 2022年度良好机组；

合肥战略能源和物质科学大型仪器区域中心 2022年度进步机组；