详细介绍：
学习工作经历：
2008-2014年就读于中国科学技术大学，获得光学博士学位，研究方向：微纳光学；
2011-2013年国家公派留学项目美国普渡大学联合培养研究生，研究方向：超分辨光刻技术；
2014年至今就职于中国科学技术大学微纳研究与制造中心，担任设备工艺工程师
技术专长：
超分辨光刻技术、聚焦离子束/氦离子显微镜微纳加工技术、3D结构高精度刻蚀技术
技术成果：
科研项目：
1.基于氦离子显微镜的硅基/类硅基纳米器件超精细加工工艺研发，2021.9-2024.9，合肥微尺度物质科学国家研究中心“技术人才提升计划”项目，项目主持
2.散射式近场光学显微镜样品台电热控制功能开发，2019. 8-2023. 8中国科学院仪器设备功能开发技术创新项目，项目主持
3.基于非对称金属包覆介质波导结构的亚波长光栅刻写及其SERS应用，2016. 1-2018.12，国家自然科学基金委青年科学基金，参与
代表性论文：
1.3-D Nanofabrication of Silicon and Nanostructure Fine-Tuning via Helium Ion Implantation. ADVANCED MATERIALS INTERFACES 9 2101643 2022 1/3 第一作者；
2.Versatile Approach of Silicon Nanofabrication without Resists: Helium Ion-Bombardment Enhanced Etching. Nanomaterials 12 3269 2022 1/5 第一作者；
3.High throughput optical lithography by scanning a massive array of bowtie aperture antennas at near-field. Scientific Reports 5 16192 2015 1/6第一作者；
4.Optical nanolithography with lambda/15 resolution using bowtie aperture array. Applied Physics A-Materials Science & Processing 117(1) 307-311 2014 1/5第一作者；
5.Near-Field Imaging of Surface Plasmons from the Bulk and Surface State of Topological Insulator Bi2Te2Se.ACS Photonics 10 2492-2498 2019 2/5；
6.Maskless Generation of Single Silicon Vacancy Arrays in Silicon Carbide by a Focused He+ Ion Beam. ACS Photonics 2022 3/9；
7.Manipulating the anisotropic phase separation in strained VO2 epitaxial films by nanoscale ion-implantation. Applied Physics Letters 119 121101 2021 3/8；
8.A wear-resistant silicon nano-spherical AFM probe for robust nanotribological studies. Physical Chemistry Chemical Physics 2022 3/6
专利：
1．一种微针贴片ZL201920717794.1；
2．一种用于补水保湿的微针导入型眼贴ZL201921396139.7；
3．一种样品结构ZL201922216397.9；
4.一种用于血糖监测的普鲁士蓝微针电极、其制备方法、血糖监测贴片及其制备方法ZL201910888655.X
5.一种精确调控原子力显微镜针尖倾角的方法ZL202010935741.4
6.一种用于氦离子显微镜成像质量校正的样品ZL202120479255.6
获奖情况：
1．王宽诚育才奖 2018.7 中国科学技术大学；
2．2022年度公共实验中心技术能手奖 2022.6中国科学技术大学；
3．“iCANX-SUMMIT2022”优秀论文奖 2022.4 iCANX组委会；
4．2017、2018年度合肥大型仪器区域中心先进机组考评“良好机组（亚微米紫外曝光机）管理员” 中科院合肥大型仪器区域中心；
5．2022年全国电镜学术会议优秀报告奖 2022.10 全国电镜学会
6．2023年全国电镜学术会议优秀报告奖 2023.10 全国电镜学会
7．《物理学报》2022年度最有影响力论文 2023.1 物理学报
8．中国科学院科技摄影联盟庆祝建党100周年摄影、微视频作品征集活动科普微视频类二等奖 2021. 9 中国科学院科学传播局 第一完成人；
9．“中国科学院第十三届公众科学日”科普志愿者 2017.5 中国科学院科学传播局科普与出版处；
10．“镜无止境.明辨未来”科普征文大赛二等奖 2020.8 蔡司显微镜 第一作者；