2023年07月26日，用户陶浩然01（coral账号：Tao.haoran01）使用完RIE2未按要求关闭腔体，导致腔体真空没有抽起来，分子泵停转，设备断电，无法开机。以上行为主要违反了《微纳研究与制造中心违规处罚条例（修订）》第20条【20. 仪器设备使用完毕后，未按照操作规定将仪器恢复至待机状态或初始状态（如真空设备未达到待机时本底真空要求等）】。根据条例规定，对陶浩然01处以停止洁净室使用权限2周的处罚，同时通报批评并告知导师。停权时间2023年8月1日00:00-2023年08月14日24:00；扣除信用分100分。
希望广大用户和中心工作人员自觉遵守中心的各项管理规定，大家共同为了更好地维护良好的实验室环境和秩序，以便为校内外用户提供更良好的科研支撑环境而努力。
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微纳研究与制造中心
2023年7月31日