2023年11月22日，用户朱正旭（coral账号：Zhu.zhengxu）在使用sputter pvd75设备时，unload样品时错点成load样品，发生报错后（样品托盘卡死）再次home substrate rotation，导致手臂挤压，陶瓷柱断裂。以上行为主要违反了《微纳研究与制造中心违规处罚条例（修订）》第35条【35. 不按照设备操作规则或使用说明操作设备，导致设备故障或损坏的】。根据条例规定，对朱正旭处以停止洁净室使用权限1个月，信用分清零，同时通报批评并告知导师的处罚，停权时间2023年11月23日00:00-2023年12月23日24:00。造成中心损失的将以机时费的形式追究责任人所在课题组的赔偿责任。
希望广大用户和中心工作人员自觉遵守中心的各项管理规定，大家共同为了更好地维护良好的实验室环境和秩序，以便为校内外用户提供更良好的科研支撑环境而努力。
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微纳研究与制造中心
2023年11月22日