基本原理和应用：

在高真空下，通过给蒸发舟通大电流加热，使舟内所要蒸镀的材料融化蒸发，到达并附着在基底表面的一种技术。设备配备两组金属蒸发源，两组有机蒸发源，可与手套箱对接以便在手套箱中操作。蒸发电源拥有手动自动两种控制模式，有效适应不同材料与实验要求。设备配备有水冷，可有效降低基底温度。

设备技术指标：

• 腔室尺寸：400×400×H450mm

• 加热电源：200A/12V 

• 晶片尺寸：150×150mm

• 蒸发舟：2组0.3ml钨舟

• 坩埚：2个，可完成不同有机材料的蒸镀.

• 显示与控制精度：0.01A