基本原理和应用：
光谱型椭偏仪通过测量宽光谱内不同波长光束经过样品反射的偏振态变化，获得薄膜厚度信息及从深紫外到近红外的宽光谱材料光学特性。具有极高的厚度测量灵敏度，并且可以分析带粗糙表面和未知材料组份的多层复杂薄膜结构。
本型号椭偏仪具备双旋转补偿器PCr1SCr2A调制技术，可实现16个穆勒矩阵偏振元采集，拟合度更高。
设备技术指标：
• 光谱范围：190~1650 nm；
• 测量角度：45-90°；
• 束斑直径：微光斑不大于200um；
• 样品尺寸：大小<200mm；
• 找焦方式：自动找焦。
