主要功能:
微纳米结构器件加工过程中的表面的高度方向形貌定量表征。
技术指标:
1、物镜涵盖10倍至100倍;
2、扫描台XY移动范围涵盖100*75mm;
3、垂直Z向扫描范围不小于40毫米;
4、垂直Z向最高分辨率2nm;
5、横向最高分辨率0.14微米;




主要功能:
微纳米结构器件加工过程中的表面的高度方向形貌定量表征。
技术指标:
1、物镜涵盖10倍至100倍;
2、扫描台XY移动范围涵盖100*75mm;
3、垂直Z向扫描范围不小于40毫米;
4、垂直Z向最高分辨率2nm;
5、横向最高分辨率0.14微米;