主要功能：

多功能高分辨原子力显微镜能够准确地观测样品表面微区（纳米及亚微米尺度）三维形貌；同时可对样品表面物理化学特性进行研究，能测试多种材料表面纳米力学特性、电学特性、原位电化学、液下电学、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、压电等特性。

技术指标：

XY扫描范围： 90μm，Z Range 10μm；

最大样品直径210mm（8寸）；

配置模块ScanAsyst，PeakForce Tapping，PFM， EFM，KPFM，MFM，PFQNM，PFKPFM，DCUBE-TUNA，DECUBE-SCM，PFSECM，Fast Tapping；

 

PFM测试

形貌测试

KPFM测试

PFQNM测试

PFTUNA测试