主要功能：

  Parylene CVD的核心原理是将固态双环聚对二甲苯（派瑞林单体）加热汽化，再经高温裂解成活性小分子，最后在常温基材表面重新聚合，形成均匀、无针孔的致密薄膜，全程无需液体中间体，沉积过程温和。

其核心应用聚焦于精密防护，包括电子元器件、医疗领域、精密零件等。 

技术指标：

1.蒸发室：310S不锈钢耐高温腔体；参数：0-400℃，温度偏差±-3℃，电压220v；

2.冷却系统：冷阱： 双冷阱；参数：≤-90℃；-70℃一下可以镀膜工作从室温到-70℃不超过30分钟；

3.裂解管路：310S不锈钢耐高温腔体；参数：650℃-750℃，控温精度：误差＜2℃-0.1℃（为确保镀膜稳定性，建议设置为＜2℃)；

4.真空系统：真空泵：双真空泵；参数：真空抽气速度60m³/H；极限压力0.5Pa；