设备优势：

• 工艺重复性高

• 镀金铝制腔体，无交叉污染的超洁净环境

• 多组红外灯管的闭环温度控制，保证控温的精准度和均匀性

技术指标：

• 最高温度：1250℃

• 最高升温速率：100℃/s

• 样品尺寸：最大6英寸

• 控温方式：快速PID温控

• 温度均匀性：±3℃≤600℃；±0.5%＞600℃

• 工艺气体：MFC控制，N2/O2/Ar