中文名:高真空管式退火炉
英文名:High Vacuum Furnace
所属机组:镀膜组
仪器型号:志远高热 ZYZK-1200-200
房间:特种实验楼裙楼二楼
负责人:魏钰

主要功能

高真空退火炉广泛应用于实验室、工矿企业、科研单位的前期实验,还可用以还原气氛、惰性气氛、氢氮混合气氛氧气等多种类型,最高使用温度为1200℃。


技术指标:

• 最高温度:1200℃(SCR控温)

• 本底真空度:小于1E-3Pa

• 升温速率:最大20℃/min(建议小于8)

• 样品尺寸:最大六寸

• 气路:氢气、氧气、氮气、氩气(流量控制)

• 控制:西门子PLC,一键运行,安全互锁

• 放料:炉膛升降,物料台保持不动

• 数据记录:温度、真空