主要功能：

SEM5000X是一款拥有超高分辨能力的热场发射扫描电子显微镜，配备了高亮度、长寿命的肖特基场发射电子枪；采用无漏磁电磁复合物镜，可直接观测磁性样品；配置镜筒内及样品台双减速功能，进一步提高低电压成像能力；配置大图拼接软件、颗粒度分析软件。可满足洁净间内微纳加工材料和器件的形貌、结构低电压高分辨成像。

技术指标：

分辨率：≤0.6 nm @ 15 kV，SE；≤1.0 nm @ 1 kV，SE；

加速电压范围：20 V～30 kV ;

探测器：镜筒内SE，旁侧ETD，插入式BSED;

放大倍数范围：1x～2,500,000x;

样品台行程：X≥110 mm，Y≥110 mm，Z≥65 mm，T：-10°~ +70°，R：360°连续可调;

配置样品交换仓，样品大小直径110 mm（可放4寸片）；6寸片需开大仓