为进一步激励支撑技术人员开展技术研发，推动微纳工艺持续迭代与创新，中国科学技术大学微纳研究与制造中心（下称“中心”）自2025年3月起正式设立工艺开发岗。中心从平台支撑、技术配套、资源配置等多方面为岗位研发工作提供全方位保障，持续强化中心在微纳领域的技术创新与科研服务能力。
2026年5月27日下午，中心在201会议室组织召开了工艺开发岗年度工作汇报会议。旨在系统梳理各研发项目的年度进展，深入分析当前工艺开发中面临的技术难点与资源需求，明确后续攻关方向与重点任务，持续推动技术支撑人才队伍专业化建设。
会上，五位工程师依次就各自负责的工艺开发项目进行汇报，详细介绍了项目工艺开发进展、技术推进情况，客观分析了当前工作中存在的主要困难，并提出了后续研究所需的配套支持与保障需求。
三维光刻技术工艺开发
基于HIM的微结构加工工艺开发
1)BSE探测器开发与测试
2)X-ray标样开发与测试
3)扫描电镜原位加热系统开发与应用
聚焦离子束三维加工成像技术
1)基于MEMS单细胞捕获量热系统的研制
2)AFM-in-SEM原位同步联用测试系统的研制
本次汇报系统展示了中心工艺开发岗设立以来取得的阶段性技术成果，全面梳理了各项目当前存在的实际问题与资源需求。下一步，中心将针对汇报中提出的技术难点与保障需求，统筹平台资源，落实配套支持，持续推进工艺技术攻关与人才能力提升，助力中心微纳技术创新与科研服务工作实现更高质量发展。
热忱欢迎校内外相关行业人士就微纳工艺需求与我们联系，进行工艺交流与探讨，共同推动微纳加工技术与应用场景的融合发展。