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型号：F40-UVSS-Microscope-UVX-1
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：SRM300-M200
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：IonImplanter-Furnace-UHV
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：普迪真空，PD-400S
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：合肥致一ZY1800
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：Lichen SW-CJ-2FD
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：中仪国科，DZF-6020
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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