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型号：JetFirst 200
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：EOPTICS, ME-L-L
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：FSM500TC
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：P17
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号： PLUTO, PLUTO-30
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：AX5350
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：Agilis MOCVDsystem
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：Basic-PLD-MBE
房间：二楼PLD
管理员：魏钰
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型号：GSL-1400X
房间：二楼离子注入
管理员：魏钰
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型号：F40-UVSS-Microscope-UVX-1
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：SRM300-M200
房间：一楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：IonImplanter-Furnace-UHV
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：普迪真空，PD-400S
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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型号：合肥致一ZY1800
房间：二楼洁净间
管理员：魏钰
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